扫描电镜，EVO-18，德国卡尔蔡司。主要应用在新材料、物理、化学、生物、医学等领域，测试各种材料表面形貌、微观结构等。分辨率：高真空二次电子像＜3.0nm（30kV）；低真空背散射电子像＜4.0nm（30kV）。由真空系统、电子光学系统、二次电子探测器、背散射电子探测器、等附件组成。可进行二次电子图像观察、背散射电子图像观察。