主要功能和技术指标：

AFM应用于研究纳米尺度的表面形貌、表面接触粘着过程的力学特性以及表面静电力测量。还广泛应用于微观磨损和微切削加工机理，测量表面纳米层的微硬度和其它机械性能，考察分子润滑膜以及材料转移行为等领域。

AFM提供了导电体和绝缘体基片表面与探针之间微小力的测量手段。X-Y方向移动最小位移：4~5µm，X-Y方向移动分辨率：2µm，可重复性：95%，Z方向移动最小位移：10nm，Z方向移动分辨率：20nm，最大图像分辨率1024× 1024 pixels，显示分辨率颜色1024×768 pixels, 65,000。